[8p-C309-1~16] 12.7 医用工学・バイオチップ

15:00 〜 15:15奨励賞エントリー

[8p-C309-5] 3次元集積用薄化ファウンドリチップにおける熱変形の挙動解析と抑制手法の評価

〇小山 聡太¹、坂本 裕樹¹、中村 拓貴¹、岡村 翔真³、福島 誉史^1,2、田中 徹^1,2 (1.東北大院工、2.東北大院医工、3.東北大工)

キーワード：

マルチチップツーウェハ、ファウンドリチップ、反り