講演情報
[8p-E206-1]300～1100 eV領域で高回折効率・高spectral fluxを呈するラミナー型W/B4C傾斜屈折率多層膜回折格子
〇小池 雅人1,2,3、羽多野 忠2,4、ピロジコフ アレキサンダー1、村野 孝訓3,5、越谷 翔悟5、寺内 正己6 (1.QST関西研、2.東北大多元研、3.大阪公大工、4.東北大SRIS、5.日本電子SABU、6.東北大東北先端顕微鏡センター)
キーワード：
回折格子、軟X線、多層膜
300〜1100 eV領域における軟X線平面結像型の発光回折格子分光器の分析感度（Spectral flux）を高めるため、新型の多層膜回折格子を設計し、製作評価した。光源から回折格子に至る光量を増加させるため、従来より入射角を小さく設定し、刻線密度を増加させ分散を保ちつつ分解能の向上を図った。さらに、溝形状の最適化と、傾斜屈折率（GRI）型W/B4C多層膜に付加により回折効率を向上させた。