講演情報
[8p-E206-11]EUV光源駆動レーザーの短波長化に向けた最適条件の探索
〇田中 のぞみ1,2、山本 祐1、佐々木 明1,3、西原 功修1,4、髙木 悠司1、砂原 淳1,5、城﨑 知至1,6、富田 健太郎7、藤岡 慎介1、吉村 政志1 (1.阪大レーザー研、2.核融合研、3.量研機構、4.大阪公立大、5.パデュー大、6.広島大、7.北大)
キーワード：
EUV光源、スズプラズマ
EUV光源駆動用CO2レーザーの代替として中赤外固体レーザーが期待されている。輻射流体コードSTAR-1Dを用い、波長1–11 µm、強度・パルス幅・ターゲットサイズを含む14万点超のパラメータサーベイを実施し、EUV変換効率とEUV出力の最適条件を探索した。変換効率は5.5 µmで最大5.63%、2 µmで4.64%を得た。最適条件は光学的厚さ~1を保つよう波長に応じて系統的に変化することを明らかにした。また、代替レーザー候補である2 µmレーザーに対する実用的な動作条件を複数提案した。