講演情報
[8p-E206-2]極端紫外反射多層膜の層別設計法における位相接続
〇江島 丈雄1 (1.東北大SRIS)
キーワード：
反射多層膜、反射位相、極紫外
EUV露光の高NA化に伴い、反射光学系の反射角度の広角度化、反射位相制御が必要とされている。従来の多層膜設計法は数値的な位相接続により反射率を求めていたが、不安定性と計算量の課題があった。本研究では解析手法を導入し、計算安定性を改善しつつ計算時間を1/2に削減した
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反射多層膜、反射位相、極紫外
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