講演情報
[8p-E206-5]EUV顕微鏡用対物ミラーの高精度波面制御による結像特性評価
〇(P)宇治 駿1、藤澤 悠太1、田邊 貴大1、S. Maidul Haque1、豊田 光紀1 (1.東京工芸大工)
キーワード：
極紫外光、EUV顕微鏡、点回折干渉計
波長13.5 nmで動作するEUV顕微鏡において、点回折干渉計（PDI）を用いた高倍率対物ミラーの波面収差補正を行った。コマ収差、球面収差および非点収差を補正することで全波面誤差0.87 nm rmsを達成し、Maréchal条件を満足した。補正後の対物ミラーを実機に搭載し、多孔質構造を観察した結果、像コントラストが大幅に向上し、約30-50 nmの微細構造を観察することに成功した。