講演情報
[8p-E206-6]EUVリソグラフィにおける多価イオンの原子過程
〇佐々木 明1,2 (1.量研関西研、2.阪大レーザー研)
キーワード：
EUV リソグラフィ、原子過程、光吸収
EUVリソグラフィの種々の要素技術に対して、多価イオンの原子過程が果たす役割について議論する。スズ多価イオンの原子過程はEUVの発生に重要である一方、露光プロセスの中でEUVにさらされる材料の中でも、EUVの内殻光電離、励起を経て多価イオンが生成し、光学系ではEUVに対する耐性の形で、レジストではEUVに対する感度やラフネスの形で効果が現れる。講演ではその起源と考えられる、スズのEUV吸収過程について議論する。