講演情報
[8p-E206-7]単一・二重トリガーレーザーアシスト放電生成スズプラズマEUV光源の協同トムソン散乱計測結果の比較
〇世良 英之1,2、長野 晃尚1、富田 健太郎2 (1.ウシオ電機、2.北大院工)
キーワード：
EUV光源、協同トムソン散乱計測、ピンチプラズマ
レーザーアシスト放電生成プラズマ（LDP）EUV光源における単一・二重トリガー構成を協同トムソン散乱で比較計測した。二重トリガーではEUVピーク時にTe=23 eV、ne=1×10^25 m^-3となり、単一トリガーより高温・高密度化した。さらに、放電前の電子密度分布の変化とピンチ収縮速度の低下を確認した。これらの結果は、第2トリガーレーザーがピンチ時間発展を変化させることを示唆する。