講演情報
[8p-E206-8]Sn ドロップレット EUV 光源の変換効率のレーザー波長依存
〇(M1)長浜 直輝1、矢澤 隼斗1、山本 隼也1、髙井 悠太1、西宮 海人2、高橋 栄治2、東口 武史1 (1.宇大、2.理研)
キーワード：
EUV 光源、変換効率、ダブルパルス
最新の半導体露光装置には，波長13.5 nmのEUV光源が用いられ，光源の高出力化が課題とされている．EUV光源の高出力化に向け、高効率なメインパルス波長の解明が必要だが、これまで3波長での比較実験は行われていない。そこで本研究では、液滴Snターゲットに1 µmのプリパルスと1，2，10 µmの3波長のメインパルスレーザーを照射し、生成したEUV光源の変換効率とスペクトルを計測・比較した．