講演情報
[8p-E219-6]ナノギャップ構造を用いた耐湿室温動作半導体ガスセンサの開発
〇内藤 泰久1、清水 舜太2、菅 洋志2、島 久1 (1.産総研、2.千葉工大)
キーワード：
ガスセンサ、ナノギャップ、ナノ構造
本研究では、ナノ構造を有したセンサにおいて高湿度環境下における感度低下のメカニズムを解明するとともに、その知見に基づき高耐湿性を有する半導体ガスセンサの開発した。特に、ナノギャップにおける毛細管現象の影響を明確化し、適切なナノ構造および疎水性自己組織化膜の導入により湿度依存性を大幅に改善した。その結果、高湿度環境下においても安定動作可能な室温動作水素センサを実証した。