[8p-E301-1~22] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

13:00 〜 13:15

[8p-E301-4] ミストCVD法によるMgO薄膜へのLi添加の検討

〇穂坂 拓実¹、中島 三四郎¹、田中 恭輔¹、小川 広太郎¹、山口 智広¹、本田 徹¹、尾沼 猛儀¹ (1.工学院大)

キーワード：

ミストCVD、MgO、Li添加