講演情報
[8p-E308-9]シリコン結晶基板の品質と点欠陥: ルネサンス (16) 点欠陥に対する圧力と内部熱応力効果
〇井上 直久1、川又 修一1、奥田 修一1 (1.大阪公大 放射線研究センター)
キーワード：
シリコン結晶、点欠陥、内部熱応力
我々は大直径結晶で熱応力により欠陥が発生するという阿部の予言の現象論的解析を行った。当初の応力シミュレイション値では効果が小さかったが、300mmで10MPaという結果を用いると融点での平衡濃度増加が0.1％と十分である子tが明らかになった。2015年に応力推定値約5MPaでVoronkov criterionからの外れが観測され、先行理論研究が立証された。