講演情報
[8p-N102-4]インレンズ型FE-SEMを用いた半導体断面観察における高品質データ取得の自動化および効率化
〇田中 駿也1、福地 佑介2、砂押 毅志2、切畑 大二2、岡田 聡2 (1.日立製作所、2.日立ハイテク)
キーワード：
自動化、画像処理、電子顕微鏡
半導体断面観察における高品質データ取得の自動化について報告する。インレンズ型FE-SEMを用い、傾斜調整ではECPと位相限定相関法による結晶軸検出に基づく自動調整手法を開発した。焦点調整・非点収差補正では、周波数領域のパワースペクトルに基づく方向別シャープネス評価値を導入し、エッジが少ない画像でも安定した調整を実現した。これらにより、属人性を排除し高品質な像の効率的取得を可能とした。