講演情報
[8p-PB1-2]放電面積に基づく誘電体沿面バリア放電プラズマ源のインピーダンス変化に関する考察
〇古賀 永1、押元 真和1、野見山 剛1、川島 朋裕1、山内 高弘2、滝川 浩史1 (1.豊技大、2.功農支援会)
キーワード：
大気圧プラズマ、インピーダンス計測
誘電体沿面バリア放電（SDBD）プラズマ源において，放電時間の経過に伴うインピーダンス変化の要因を検討した。PVCを誘電体としたプラズマ源の放電面積を画像解析により評価した結果，放電面積とインピーダンスは類似した時間変化を示した。さらに，ガラス誘電体との比較から，PVCの材料特性がインピーダンス変化に関与している可能性を示し，インピーダンス計測によるプラズマ源状態評価の有効性を検討した。