[8p-PB1-1~14] 8.1 プラズマ生成・診断 | 2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)8 プラズマエレクトロニクス：8.1 プラズマ生成・診断

[8p-PB1-1~14]8.1 プラズマ生成・診断

2026年9月8日(火) 14:00 〜 15:30

PB1 (第2体育館)

[8p-PB1-1]気液界面プラズマによる液相活性種生成におけるウルトラファインバブル導入効果

〇雪屋遼馬¹ (1.九大シス情)

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[8p-PB1-2]放電面積に基づく誘電体沿面バリア放電プラズマ源のインピーダンス変化に関する考察

〇古賀永¹、押元真和¹、野見山剛¹、川島朋裕¹、山内高弘²、滝川浩史¹ (1.豊技大、2.功農支援会)

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[8p-PB1-3]大気圧プラズマジェットにおけるメモリー効果の数値シミュレーション

〇岩田琉聖¹、齊藤壱平¹、村上朝之¹ (1.成蹊大学)

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[8p-PB1-4]Self-Ionized SputteringシミュレーションにおけるCu反応モデルの改良

〇磯野晋¹、田宮慎太郎¹、渡辺将也¹ (1.アルバック)

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[8p-PB1-5]Plasma Hybrid Moduleを用いたXeプラズマの電子温度シミュレーション

〇増田秀樹¹、笠原春生¹、田中正明²、小坐間孔志¹ (1.日本電子、2.ペガサスソフトウェア)

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[8p-PB1-6]RFアンバランスドマグネトロンプラズマの空間構造

〇(M2)三原智也¹、大津康徳¹ (1.佐大院理工)

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[8p-PB1-7]光ピンセットを用いたプラズマシース中浮遊微粒子の帯電量及び遮蔽長評価法の開発

〇杉田拓朗¹、楼明皓¹、山下大輔¹、奥村賢直¹、板垣奈穂¹、古閑一憲¹、白谷正治¹、鎌滝晋礼¹ (1.九大シス情)

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[8p-PB1-8]プラズマ照射下におけるSiO₂表面での酸素原子表面損失確率

〇佐藤颯斗¹、竹田圭吾¹ (1.名城大理工)

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[8p-PB1-9]RFマルチホロー磁化AZOスパッタプラズマの空間構造

〇山縣実¹、大津康徳¹ (1.佐大院理工)

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[8p-PB1-10]ハイブリッドホロー電極と磁石を用いた高周波水素プラズマ生成

〇(M1)松下令旺¹ (1.佐大院理工)

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[8p-PB1-11]磁石内蔵型ホロー電極による容量結合型水素プラズマの高密度化

〇(M1)松吉宇宙¹、大津康徳¹ (1.佐大院理工)

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[8p-PB1-12]水素ガス低圧下における高密度RF ホロー磁化プラズマの空間構造

〇後藤尚久¹、大津康徳¹ (1.佐賀大理工)

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[8p-PB1-13]回転式マルチリング型RFマグネトロンスパッタプラズマによる均一なターゲット利用

〇古森正斗¹、大津康徳¹ (1.佐大院理工学)

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[8p-PB1-14]RFマグネトロンスパッタプラズマに及ぼすターゲット侵食分布の影響

〇井之上侑世¹ (1.佐賀大学理工学研究科)

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