セッション詳細

[8p-PB1-1~14]8.1 プラズマ生成・診断

2026年9月8日(火) 14:00 〜 15:30
PB1 (第2体育館)

[8p-PB1-2]放電面積に基づく誘電体沿面バリア放電プラズマ源のインピーダンス変化に関する考察

〇古賀 永1、押元 真和1、野見山 剛1、川島 朋裕1、山内 高弘2、滝川 浩史1 (1.豊技大、2.功農支援会)

[8p-PB1-3]大気圧プラズマジェットにおけるメモリー効果の数値シミュレーション

〇岩田 琉聖1、齊藤 壱平1、村上 朝之1 (1.成蹊大学)

[8p-PB1-4]Self-Ionized SputteringシミュレーションにおけるCu反応モデルの改良

〇磯野 晋1、田宮 慎太郎1、渡辺 将也1 (1.アルバック)

[8p-PB1-5]Plasma Hybrid Moduleを用いたXeプラズマの電子温度シミュレーション

〇増田 秀樹1、笠原 春生1、田中 正明2、小坐間 孔志1 (1.日本電子、2.ペガサスソフトウェア)

[8p-PB1-6]RFアンバランスドマグネトロンプラズマの空間構造

〇(M2)三原 智也1、大津 康徳1 (1.佐大院理工)

[8p-PB1-7]光ピンセットを用いたプラズマシース中浮遊微粒子の帯電量及び遮蔽長評価法の開発

〇杉田 拓朗1、楼 明皓1、山下 大輔1、奥村 賢直1、板垣 奈穂1、古閑 一憲1、白谷 正治1、鎌滝 晋礼1 (1.九大シス情)

[8p-PB1-8]プラズマ照射下におけるSiO₂表面での酸素原子表面損失確率

〇佐藤 颯斗1、竹田 圭吾1 (1.名城大理工)

[8p-PB1-9]RFマルチホロー磁化AZOスパッタプラズマの空間構造

〇山縣 実1、大津 康徳1 (1.佐大院理工)

[8p-PB1-11]磁石内蔵型ホロー電極による容量結合型水素プラズマの高密度化

〇(M1)松吉 宇宙1、大津 康徳1 (1.佐大院理工)

[8p-PB1-12]水素ガス低圧下における高密度RF ホロー磁化プラズマの空間構造

〇後藤 尚久1、大津 康徳1 (1.佐賀大理工)

[8p-PB1-14]RFマグネトロンスパッタプラズマに及ぼすターゲット侵食分布の影響

〇井之上 侑世1 (1.佐賀大学理工学研究科)