講演情報
[8p-PB2-11]ファラデーカップを用いた高速原子ビーム源の中性化率測定
〇伊藤 楓馬1、日野 太智1、大島 京祐1、三好 勇貴1、岡 智絵美1、豊田 浩孝2、秦 誠一1 (1.名大工、2.名大 cLPS)
キーワード：
高速原子ビーム、中性化率、ファラデーカップ
高速原子ビーム（FAB）を用いた表面活性化接合は，半導体三次元積層への応用が期待されており，電気的損傷抑制の観点から中性化率の定量評価が重要である．本研究では，新形FAB源の中性化率評価系確立を最終目標とし，その前段階としてファラデーカップおよび静電偏向器を用いた測定系を構築した．さらに，サドルフィールド形FAB源の中性化率測定を行い，先行研究との比較により測定系の妥当性を検証した．