講演情報
[8p-PB2-12]バッチ式接合に向けた高速原子ビーム源の照射特性測定
〇竹屋 友博1、大島 京祐1、三好 勇貴1、日野 太智1、岡 智絵美1、櫻井 淳平1、秦 誠一1 (1.名大工)
キーワード：
常温直接接合、表面活性化接合、高速原子ビーム源
ウエハのバッチ式接合に向け，高速原子ビーム（FAB）源による2枚ウエハ同時照射時の照射特性を評価した．スパッタ率から最適照射角として50°を導出し，酸化膜除去試験によりエッチング均一性の向上を確認した．また，2枚同時照射に必要な配置条件を求め，専用ジグを開発し照射試験を実施した．その結果，エッチング分布には真空度分布および再デポジットが影響する事を示し，複数枚同時照射用FAB源開発に向けた基礎データを得た．