講演情報
[8p-PB2-13]内部電極を導入した高速原子ビーム源の動作特性と照射特性に与える影響
〇日野 太智1、伊藤 楓馬1、三好 勇貴1、大島 京祐1、岡 智絵美1、秦 誠一1 (1.名大工)
キーワード：
常温接合、表面活性化接合、高速原子ビーム
表面活性化接合に用いられるFAB源には，大面積均一照射が求められている．先行研究では内部電極により照射均一性を改善したが，電極開口径が動作・照射特性に与える影響は未解明であった．そこで本研究ではその影響を評価した．開口径の縮小に伴いAr流量が減少し，エッチングレートが増加した．一方，開口径の拡大は平均自由行程の短縮により照射均一性の向上をもたらすことが示唆された．