講演情報
[8p-PB3-18]画像読出し回路を応用したグラフェンデバイスの多画素一括自動評価
〇福島 昌一郎1、嶋谷 政彰1、岩川 学1、小川 新平1 (1.三菱電機（株）)
キーワード：
グラフェン、読出集積回路、電界効果トランジスタ
グラフェンは優れた電気伝導性、高いキャリア移動度、広範な波長域における光吸収特性を有し、エレクトロニクスや光デバイスの次世代材料として注目されている。従来のグラフェンデバイス評価は探針プローブによる単一、少数素子の手動測定に限定されていた。大フォーマットでの一括自動評価を実現すれば、空間的な特性分布を考慮した定量評価手法を確立できる。
本研究ではグラフェンデバイスの多画素一括測定を可能にする自動評価系について報告する。我々はこれまでにグラフェン中波長赤外イメージセンサを世界に先駆けて実現しており、複数画素の並列読出し・A/D変換・多画素情報の同時取得技術を確立している。本研究ではこれらのイメージセンサ回路駆動技術をグラフェンデバイスの基礎特性評価に応用した。
本研究ではグラフェンデバイスの多画素一括測定を可能にする自動評価系について報告する。我々はこれまでにグラフェン中波長赤外イメージセンサを世界に先駆けて実現しており、複数画素の並列読出し・A/D変換・多画素情報の同時取得技術を確立している。本研究ではこれらのイメージセンサ回路駆動技術をグラフェンデバイスの基礎特性評価に応用した。