2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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[8p-PB3-43]
折り畳みMoS
2
ソース/ドレイン構造を有する単層MoS
2
チャネルトランジスタの作製と評価
〇金田 賢彦
1
、西野 隆太郎
1
、川那子 高暢
1
、張 文馨
1
、陳 家驄
1
、入沢 寿史
1
、岡田 直也
1
(1.産総研 先端半導体研究センター)
キーワード:
遷移金属ダイカルコゲナイド、トランジスタ
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