講演情報
[8p-S5-7]バーストモードフェムト秒レーザーと空間光変調器を用いたガラス間の多点同時超短光パルスマイクロ接合
〇(B)岩岡 駿介1、玉木 隆幸1 (1.奈良高専)
キーワード：
超短光パルスマイクロ接合、バーストモード、空間光変調器
近年，超短パルスレーザー加工では高品質化と高効率化の両立が求められている．本研究では，時間的エネルギー制御が可能なMHzバーストモードフェムト秒レーザーと，空間的集光制御を担うSLMを統合した多点同時ガラス接合法を提案した．その結果，MHzバーストにより溶融痕の深さ方向の制御が可能となり，SLMによる集光点間距離の調整により横方向形状も制御できた．さらに，出力2.8 W，走査速度1 mm/sでガラス接合を達成した．