講演情報
[9a-A23-1]X線リソグラフィー加工による空中像結像シート
〇天野 壯1、伊澤 伸哉1 (1.兵庫県大高度研)
キーワード:
空中像、X線リソグラフィー、マイクロミラーアレイ
X線リソグラフィー微細加工により、いろいろな2面角角度を持った2枚マイクロミラーアレイ構造の空中像結像シートを開発した。これは薄く(<1.5mm)軽量なPMMAシートであり、光源ディスプレイと空中像の相対位置が変えられる。空中像の輝度と鮮明度をイメージデータから評価し、設計通りであった。
空中像、X線リソグラフィー、マイクロミラーアレイ