[9a-A24-1~12] 11.3 アナログ応用および関連技術

9:15 〜 9:30奨励賞エントリー

[9a-A24-2] ナノ粒子堆積法で形成した微細円錐Alバンプの作製

〇島田 拓海^1,2、荒賀 佑樹²、仲川 博²、菊地 克弥²、田井野 徹¹ (1.埼玉大院、2.産総研)

キーワード：

超伝導、3次元接合、バンプ