[9a-C213-1~13] 3.8 テラヘルツ全般

10:00 〜 10:15奨励賞エントリー

[9a-C213-5] 高感度テラヘルツ検出に向けたLNOI MEMS両持ち梁共振器の作製および評価

〇森 建紀¹、諸橋 功²、張 亜¹ (1.農工大工、2.情報通信研究機構)

キーワード：

NEMS、THz、LiNbO3

本講演では、室温動作THzボロメータの高感度化に向け、LNOI両持ち梁NEMS共振器の作製と熱応答評価について報告する。LNの大きな熱膨張係数と低熱伝導率に着目し、NiCr薄膜による加熱で生じる共振周波数シフトを測定した。さらに、熱感度に加えてNEPおよび検出速度を評価し、LNOI共振器の有効性を議論する。