講演情報

9:15 〜 9:30奨励賞エントリー

[9a-C309-2]におい感応膜における２種類の応答を分離検出可能なCMOSにおいセンサの作製と特性評価

〇岡田陽¹、浅田吉博¹、木村安行¹、野田佳子¹、赤井大輔¹、飛沢健¹、權益賢¹、崔容俊¹、高橋一浩¹、澤田和明¹、野田俊彦¹ (1.豊橋技術科学大学)

キーワード：

においセンサ、分離検出、CMOSセンサ

これまでに我々の研究グループでは，電位センサアレイ上に複数のにおい感応膜を塗分けた，CMOS電位検出型においセンサの開発を進め，これまでに複数ガスの判別を達成している．しかし，本センサは2種類の応答を示してしまい，それらの分離検出は困難である．そこで、本研究ではこれらを分離検出可能な測定手法を提案し，センサの設計および作製を行った．本講演では，これらの提案手法の原理検証について報告する．

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