講演情報
[9a-E217-2]In添加によるMoOx/Si基板上Ga融液の濡れ性向上とGaAs製膜への応用
〇勝部 涼司1、橋本 昌樹1、松永 太陽1、宇佐美 徳隆1,2,3 (1.名大院工、2.名大未来研、3.名大未来機構)
キーワード:
濡れ性、溶液成長、III-V族半導体
MoOx上におけるIn融液の完全濡れ現象と合金融液における界面偏析現象に着目し,一部に剥離・液滴は見られるもののGa合金融液膜の構築を実現しました.さらにこれを前駆体とするGaAs on Siの製膜を試行しました.
濡れ性、溶液成長、III-V族半導体