講演情報
[9a-E301-5]レーザー分子線堆積DNA薄膜を用いた膜型表面応力センサの水分子高選択感応特性
Xuechen Shen1、劉 帥1、村田 朋大1、南 皓輔2、吉川 元起2、山崎 智彦2、〇松木 伸行3、有賀 克彦2,1 (1.東大院新領域、2.物材機構、3.神奈川大工)
キーワード:
DNA、レーザー分子線堆積、水分センサ
有機溶媒中の微量水分検出は食品・医薬品・化学産業で重要である.本研究では,レーザー分子線堆積(LMBD)法でDNA薄膜を膜型表面応力センサ(MSS)上に作製し,水分センサへの応用を検討した.得られた膜はインクジェット法より薄く均一で,有機溶媒に対する水蒸気の応答比は7〜22倍に達した.また,実験結果から検出限界は5 × 10-4%RHと推定された.素子間における応答のばらつきも約10%に抑制され,再現性が大きく向上した.
