講演情報
[9a-F211-4]パラメトリックテストを基盤としたプロセスインフォマティクスの提案
― 装置状態量と素子特性の統合による品質知識基盤の構築 ―
〇安藤 剛樹1,2 (1.M&M International、2.株オー・エヌ・シー)
キーワード：
パラメトリックテスト、プロセスインフォマティクス、品質知識基盤
半導体デバイスは製造装置によって形成され、その状態変動は素子特性として現れる。本発表ではE-Testを単なる合否判定ではなく工程知識の源泉と位置付け、装置状態量と素子特性を統合解析する品質知識基盤を提案する。パラメトリックテストを基盤としたプロセスインフォマティクスによる品質・歩留まり改善の可能性について報告する。