[9a-F211-1~12] 18.2 プロセスインフォマティクス

11:00 〜 11:15

[9a-F211-8] 解釈可能な自律スパッタ: ブラックボックス最適化から成長則抽出

〇若林 勇希¹、小川 友以¹、Romero Franz Benedict¹、Wagner Coleman¹、大塚 琢馬²、谷保 芳孝¹ (1.NTT 物性研、2.NTT CS研)

キーワード：

自律スパッタ、Ga2O3、解釈性