講演情報
[9a-N102-11]バルク圧電単結晶板における平行電界を用いた横波弾性波の非接触評価
〇日高 悠一郎1,2、島崎 奈々1,2、柳谷 隆彦1,2 (1.早稲田大学、2.材研)
キーワード：
圧電性
従来のバルク単結晶の横波音速測定は、トランスデューサの接着や逆解析が必要である。本研究は、c軸垂直の圧電薄膜を成膜した試料に非接触電極を近接させ、横方向電界により横波を励振して面内音速異方性を容易に評価する手法を提案している。実験では、ATカット水晶上にZnO薄膜を作製し時間領域インパルス応答を測定した結果、基板内を往復する2種類の横波ピークを観測し、回転による振幅強度の測定に成功した。