講演情報

[9a-PA1-28]トップコンタクト構造によるC70フラーレンナノシートトランジスタの電子移動度向上

〇阿部 駿斗1,2、梅田 有輝也1、菅 洋志1、若原 孝次2、塚越 一仁2 (1.千葉工大、2.物材機構)

キーワード:

有機トランジスタ、フラーレン、フラーレンナノシート

本研究では,C70フラーレンナノシート(C70NS)を用いたトップコンタクト型FETを作製し,輸送特性を評価した.C70NSを真空中200℃で100時間アニール後,Au電極を形成した.伝達特性からn型動作を確認し,Y-function法で算出した電子移動度は,先行研究のボトムコンタクト型素子より約2桁高かった.この向上には,電極/C70NS界面の接触改善と真空アニールによる電荷輸送特性の向上が寄与したと考えられる.