講演情報
[9a-PA4-28]通信波長帯メタレンズの設計・作製及びその結合特性評価
〇(D)岡本 将樹1、木船 篤志1、長谷部 翔大2、山田 泰文2、杉浦 健3、草島 子栄3、朝日 透1,2,4、中川 鉄馬2 (1.早大先進理工、2.早大総研機構、3.(株) オプトラン、4.早大ナノライフ)
キーワード：
メタサーフェス、メタレンズ、メタマテリアル
次世代オールフォトニック・ネットワークのチップ間光接続に向け、通信波長帯メタレンズを設計・作製し、光ファイバとの結合特性を評価した。FDTD法とRCWA法で設計し、石英基板上のa-Siを電子ビーム描画と反応性イオンエッチングで加工した。作製構造をSEMで確認した後、焦点距離と結合効率を測定し、シミュレーションとの比較および複数レンズ間の差から、設計手法の妥当性と結合効率を左右する要因を検討した。