講演情報
[9a-PA7-9]ガラス基板上のチタン薄膜の高電圧陽極酸化による大きなチューブ間距離を持つ酸化チタンナノチューブ膜形成
〇降幡 颯真1、原 豪琉1、片岡 大1、木村 康男1 (1.東京工科大工)
キーワード：
酸化チタンナノチューブ、陽極酸化
酸化チタンナノチューブ(TNT)膜を電子デバイスに応用するために同一基板上に対極を配置したチタン(Ti)薄膜を局所的に陽極酸化し、形成されたTNTの構造を調べた。その結果、バルクのTiと同様の構造を有するTNTを形成できた。しかし、条件によってはTNTが剥離してしまう為基板上にTNT膜を形成できること条件の範囲はバルクに比べて狭いことがわかった。