講演情報
[9a-PB1-12]LER水晶振動子センサの振動モード解析
〇今北 海滉1、山田 啓文2、宮戸 祐治1 (1.龍谷大院 先端理工、2.龍谷大 科技研センター)
キーワード：
原子間力顕微鏡、LER、振動解析
AFMにも用いられる共振周波数約1 MHzのLER（Length-Extension Resonator）水晶振動子センサを液体の粘性評価に応用することを目標に，センサへの質量付加などによる振動特性の変化を評価した。まず，有限要素法による固有モード解析を用いて質量付加が振動特性に与える影響を調べ，共振周波数およびQ値を評価した。また，実際に気液界面にてフォースカーブ測定を行い，局所物性評価への適用可能性を検討した。