講演情報
[9a-PB1-3]タッピングAFMポテンショメトリのためのプリアンプ回路解析
〇(B)河村 友香1、山田 啓文2、宮戸 祐治1 (1.龍谷大先端理工、2.龍谷大科技研センター)
キーワード：
AFM、AFMポテンショメトリ
熱電材料の熱起電圧測定に向け、タッピングモードAFMPの回路動作をシミュレーションにより解析した。タッピング駆動をスイッチング動作としてモデル化し、主要パラメータが測定精度と応答速度に与える影響を評価した。解析の結果、主に配線容量の時定数の効果により電位が階段状に上昇し定常値へ収束することを確認した。また、安定動作には入力段のプルダウン抵抗が必要であるが、その抵抗値が測定精度と撮像速度のトレードオフ関係にあること、配線容量が測定時間に影響することを確認した。