2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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[9a-PB5-8]
冷却下Ar-GCIBスパッタリングを用いたMAPbI
3
薄膜の低損傷XPS深さ方向分析
〇岡田 宝
1
、田中 仙君
1
(1.近畿大総合理工)
キーワード:
ペロブスカイト太陽電池、X線光電子分光法、ガスクラスターイオンビーム
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