講演情報
[9p-B31-7]プラズマ微細加工で拓くダイヤモンド集積量子センサー
〇勝見 亮太1,2,3 (1.豊橋技科大、2.コロンビア大学、3.東大)
キーワード：
ダイヤモンド、量子、ハイブリッド集積
カーボン系薄膜の中でもダイヤモンドは、電子デバイスから量子技術など、多様な分野で重要性を増している。特にダイヤモンド中の窒素－空孔(NV)センターをはじめとするカラーセンターは、量子情報処理や量子センシングといったアプリケーションを担う候補として非常に注目を集めている。
これまでの半導体の歴史からもわかる通り、プラズマ微細加工はダイヤモンド量子技術を大きく進展させる可能性を秘めている。本講演では、プラズマ微細加工を用いたダイヤモンド微細加工技術の最近の進展と、量子センサー応用への展開について述べる。
これまでの半導体の歴史からもわかる通り、プラズマ微細加工はダイヤモンド量子技術を大きく進展させる可能性を秘めている。本講演では、プラズマ微細加工を用いたダイヤモンド微細加工技術の最近の進展と、量子センサー応用への展開について述べる。