セッション詳細
[9p-B31-1~8]活性種制御・界面形成・機能創発:プラズマとカーボン系薄膜をつなぐ視点
2026年9月9日(水) 13:30 〜 17:45
B31 (工学部 B棟)
[9p-B31-1]オープニング~プラズマとカーボン系薄膜~
〇針谷 達1 (1.岐阜大)
[9p-B31-2]活性種計測と機械学習が拓くカーボンナノ材料形成機構の理解
〇近藤 博基1、安藤 悠介2、上岡 直樹2、石川 健治3、堤 隆嘉3、堀 勝3、平松 美根男4、松尾 豊2 (1.九大シス情、2.名大院工、3.名大低温プラズマ、4.名城大理工)
[9p-B31-3]13.56MHz誘導結合プラズマCVDによる超微粒ダイヤモンドの低温成長
〇安藤 瞭汰1、長町 学1、辰巳 夏生1 (1.住友電工)
[9p-B31-4]ダイヤモンドウェハ作製におけるプラズマプロセスの現状と展望
〇山田 英明1 (1.産総研)
[9p-B31-5]半導体プロセスにおけるカーボン膜の課題
〇矢崎 晃平1 (1.東京エレクトロン)
[9p-B31-6]カーボン系材料における界面設計と機能創発
〇平田 祐樹1 (1.科学大総研)
[9p-B31-7]プラズマ微細加工で拓くダイヤモンド集積量子センサー
〇勝見 亮太1,2,3 (1.豊橋技科大、2.コロンビア大学、3.東大)
[9p-B31-8]クロージング
〇片宗 優貴1 (1.九州工大)
