講演情報
[9p-C214-16]マイクロ構造を付与した有機光検出器を用いた光と圧力のマルチセンシング
〇大場 邦誉1、佐々木 光生1、山岸 健人1、染谷 隆夫1、横田 知之1 (1.東大工)
キーワード：
マルチモーダルセンシング、圧力センサ、光検出器
昨年の応用物理学会にて、光と圧力の両方を単一構造で検出可能なマルチモーダルデバイスを報告した。本デバイスは有機光検出器の積層構造を二分割し、柔軟な上部電極基板と下部基板により構成される。本研究では、従来課題であった圧力検出時の大きなヒステリシス特性を、上部電極へ新たにマイクロ構造を付与することで大幅に改善した。さらに、接触と近接を、単一デバイスでリアルタイム検出することにも成功した。