講演情報
[9p-E203-6]バイオチップ作製のためのアライメントフリー光・電子併用リソグラフィマスクの開発
〇佐藤 美那1、遠西 美重1、松谷 晃宏1 (1.Science Tokyo RIM)
キーワード：
リソグラフィ、アライメントフリー
リソグラフィ技術は目的のパターンサイズによって光や電子による露光方式を選択する必要がある．一般的にナノ・マイクロサイズの異なる構造体が混在するデバイスの作製にはフォトマスクを用いた光リソグラフィと電子線リソグラフィを其々別々に実施する必要があり，工程数が多く，精密なアライメントも必要である．そこで本発表では工程数を減らすため，アライメントフリーの光・電子併用リソグラフィ用マスクの開発について発表する．