講演情報
[9p-E308-10]メタマテリアルを用いたVHF帯高周波プラズマ均一化に向けた高周波磁場の局所制御
〇中野 幸登1、田口 滉健1、中西 俊博1、酒井 道1 (1.滋賀県大工)
キーワード：
メタマテリアル、プラズマ、高周波
半導体製造におけるウェハのドライエッチング処理の際に，プラズマ密度がアンテナの形状に依存して空間的に変化することが原因で，ウェハ上に形成される半導体チップの特性が一定にならず，歩留まり率が低下してしまうことが問題になっている．本研究では，設計した金属パターンとして作製したLCR回路素子により構成されるメタマテリアルを用いてプラズマを高密度化する手法を提案する．