講演情報
[9p-E308-13]干渉フィルタを用いた波長選択型多視点発光トモグラフィによるArプラズマ発光の三次元再構築
〇吉川 隼人1、豊田 浩孝2、鈴木 陽香1,2 (1.名大工、2.名大低温プラズマ)
キーワード：
プラズマ、再構築、CCP
近年、プラズマプロセスの高度化に伴い、プラズマの空間構造を非接触で把握する診断技術の重要性が高まっている。本研究では、多視点発光トモグラフィに波長選択性を付与するため、干渉フィルタを組み込んだ分光画像取得系を構築した。Ar容量結合型プラズマを対象に750 nm帯の発光画像を多方向から取得し、Tikhonov–Phillips正則化を用いて三次元発光分布を再構築した。その結果、波長選択した発光分布の三次元再構築が可能であることを確認した。