講演情報
[9p-E308-15]パルスラマン分光を用いたプラズマCVD中の基板温度計測と放射温度測定におけるプラズマ誘起誤差の定量解析
〇新田 魁洲1、嶋岡 毅紘1、茶谷原 昭義1、坪内 信輝1、杢野 由明1、山田 英明1 (1.産総研)
キーワード：
プラズマCVD、放射温度測定、パルスラマン
プラズマ化学気相成長（CVD）において基板温度は成長を支配する重要なパラメータであり、放射温度測定によるモニタリングが広く行われている。本研究では、パルスラマン分光によりプラズマ越しでも高精度な基板温度計測を実現し、その温度を基準として放射測温におけるプラズマ誘起誤差を評価した。炭素含有プラズマ下では、発光が熱放射に重畳することで系統的な温度誤差が生じ、数値解析によりその発生機構を明らかにした。