講演情報
[9p-E308-5]EUV光誘起水素プラズマ診断に向けた高感度レーザートムソン散乱計測システムの開発
〇佐藤 祐太1、伊東 舜1、永松 陸人1、中村 大輔1、溝口 計1、鈴木 一明1、富田 健太郎2、山形 幸彦1 (1.九州大学、2.北海道大学)
キーワード：
EUV、トムソン散乱、水素プラズマ
EUVリソグラフィ用レーザー生成プラズマ光源では、Snデブリ抑制とミラー保護のため水素ガスが導入され、低温・低密度の水素プラズマが形成される。電子密度・温度の定量評価は重要だが、ミラー近傍は特に低密度で高感度計測を要する。本研究では高感度レーザートムソン散乱計測システムを構築し、初期実証として、水素プラズマで電子密度4.5×10¹⁶ m⁻³、電子温度0.74 eVのスペクトル検出に成功した。