講演情報
[9p-E308-6]レーザー生成プラズマの2次元流れ場計測
〇(M2)川端 美霞1、富田 健太郎1 (1.北大工)
キーワード：
レーザー生成プラズマ、協同的トムソン散乱、速度場計測
EUV光源の高効率化やデブリ抑制にはプラズマの流れの可視化が不可欠である 。本研究では、二方向からプローブレーザーを入射するレーザートムソン散乱（LTS）計測系を構築し、直交する2方向の流れ速度成分から2次元局所速度ベクトルを算出する手法を開発した 。炭素プラズマの計測では2×104 ~7×1０4 m/s程度の速度場を得た 。また、イオン項のピーク読み取り不確かさによる角度誤差が3.3°〜10.3°の範囲であることを評価した 。