講演情報
[9p-E311-19]Alシート付加ターゲットによるAlN薄膜成長の耐酸素性向上
〇勅使河原 明彦1、吉田 慎哉1 (1.芝浦工大)
キーワード：
圧電、窒化アルミニウム、スパッタリング
AlN系薄膜はスパッタ成膜時に酸素混入で結晶性が劣化しやすい課題がある。本研究では、純Alターゲット上にAlシートを固定する簡便な手法で耐酸素性の向上を試みた。RFマグネトロンスパッタ法で酸素を意図的に導入して評価した結果、Alシート設置により結晶性劣化の開始点が高酸素流量側へ移動し、良好な配向性が維持された。これにより成膜プロセスの酸素ロバスト性が大幅に向上することが明らかとなった。