講演情報
[9p-N102-7]フェムト秒レーザー加工現象の定量計測とモデル化に向けて
〇小西 邦昭1 (1.東大院理)
キーワード:
レーザー加工
超短パルスレーザー加工は次世代ものづくりの基盤技術へと発展したが、その素過程の理解は十分でなく、加工は今なお経験的最適化に依存している。本講演では、加工を予測可能とする精密計測とモデル化に向けた取り組みとして、集光プロファイルの直接計測とフルエンスマップ法、空気中の非線形伝搬シミュレーション、レーザー誘起プラズマの時間分解計測等を紹介する。さらに誘電体中の加工その場を捉える最新の試みと展望を議論する。
