[9p-PA1-1~52] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[9p-PA1-29] ガラス基板上に室温成膜した ZnO(N) シード層の ZnO:Al 膜への効果

〇和田 義晴¹、白谷 正治¹ (1.九大シス情)

キーワード：

ZnO系透明導電膜、シード層、結晶成長