[9p-PA1-1~52] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[9p-PA1-31] Zn添加AZO透明導電膜におけるAl添加量依存性

〇鹿野 サファ¹ (1.島根大自然)

キーワード：

透明導電膜

高透過率・高導電性を有する透明導電膜は、液晶ディスプレイや太陽電池の透明電極に用いられる。我々は、ITOに匹敵する導電率と高い透過率を示すZnO系透明導電膜を研究し、Znを10 at%添加したGZO粉末ターゲットにより抵抗率3 × 10 ^–4Ωcmを達成した。本研究では、AZOにZnを10 at%添加した粉末ターゲットを用い、Al₂O₃添加量が電気的・光学的特性の圧力依存性に及ぼす影響を評価した。