2026年第87回応用物理学会秋季学術講演会
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[9p-PA1-4]
ガラス基板上多結晶β-Ga
2
O
3
薄膜の作製と深紫外光検出特性
〇三輪 拓飛
1
、東条 真吾
1
、西野 克志
1
(1.徳島大学大学院)
キーワード：
酸化ガリウム、深紫外光検出器、多結晶
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