[9p-PA1-1~52] 21.1 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[9p-PA1-44] 大気圧化学堆積法によって成長したZnO，β-Ga₂O₃およびZnGa₂O₄ナノ構造のUV光検出特性

〇寺迫 智昭¹、安藤 稜平¹、堀内 理央¹、山田 知哉¹、矢木 正和² (1.愛媛大院理工、2.香川高専)

キーワード：

ナノワイヤー、化学気相堆積法、紫外光検出器